技術(shù)編號:7212851
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種芯片儲存盒,特別是涉及一種具有一芯片定位機構(gòu)的芯 片儲存盒。此外,本發(fā)明還涉及一種芯片固定擋板。背景技術(shù)一般來說,在半導(dǎo)體制造工藝中,芯片(或晶片)在制程機臺間的傳送通常是通過一芯片儲存盒(wafer pod)來實現(xiàn)的。請參閱圖1A及圖1B, 一公知的芯片儲存盒1主要包括有一門座10、 一 卡匣20、 一殼罩30及一芯片定位機構(gòu)40??ㄏ?0設(shè)置于門座10之上,用來承載多個芯片或晶片(未顯示于圖1A 及圖1B中)。殼罩30以可分離的方式連接于...
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