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基板的切斷裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7212887

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本發(fā)明涉及切斷基板而單片化為半導(dǎo)體器件的切斷裝置。背景技術(shù) 如由攜帶電話或數(shù)字照相機(jī)等小型數(shù)字儀器所代表的那樣,近年的各種電子儀器的輕薄短小化顯著,為了實現(xiàn)該輕薄短小化,需要作為構(gòu)成部件而起到重要作用的半導(dǎo)體封裝部件的小型化。作為響應(yīng)該要求的部件,普及有搭載稱為插入式選擇器(interposer)的半導(dǎo)體芯片的引線框架的尺寸與半導(dǎo)體芯片近似的CSP(chip·size·package)型的半導(dǎo)體器件。CSP型半導(dǎo)體器件如BGA(球柵陣列,Ball Grid...
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