技術(shù)編號：7213110
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總的涉及半導(dǎo)體制造，且更具體地說，涉及一種用于半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)的晶片盒輸送的改進(jìn)裝置。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，半導(dǎo)體加工周期時間的縮短是最為重要的。在半導(dǎo)體制造設(shè)備中的輸送移動增加了半導(dǎo)體加工周期時間。因此，減少在半導(dǎo)體制造設(shè)備中的輸送移動變得愈發(fā)地重要。用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶片盒輸送的現(xiàn)有技術(shù)的裝置是昂貴和低效的。更具體地說，用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶片盒輸送的現(xiàn)有技術(shù)的裝置包括許多晶片盒輸送通常不需要的部件。例如，每個現(xiàn)有技術(shù)的裝置包括控制...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。