技術(shù)編號：7213538
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及電子器件制造，更具體地涉及用于在電子器件制造期間傳輸襯底的方法和裝置。背景技術(shù) 已經(jīng)發(fā)展出許多機(jī)械手(robot)設(shè)計用于在電子器件制造期間在處理室之間傳輸諸如半導(dǎo)體晶片、玻璃襯底等的襯底。例如，常規(guī)蛙腿式機(jī)械手在處理工具的傳輸室內(nèi)使用，以在處理工具的裝載鎖定室和處理室之間傳輸襯底。襯底通常在傳輸操作期間被支撐在機(jī)械手的托板(blade)上；并且托板內(nèi)可以形成凹部(pocket)，以在托板運動期間(諸如旋轉(zhuǎn)、延伸、收縮等期間)將襯底保持在適...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。