技術編號：7214618
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種通過組合從以層疊狀態(tài)分別容納多片基板這樣的多個載體中取出的多片基板來形成基板的批次這樣的批次形成裝置，具備該批次形成裝置的基板處理系統(tǒng)，用于形成基板的批次的批次形成方法及在上述批次形成裝置中使用的儲存批次形成程序的存儲介質。背景技術 以往，在半導體元件和平面顯示器等的制造過程中，通過使用基板處理系統(tǒng)，執(zhí)行對半導體晶片和液晶基板的內外面實施清洗和干燥等各種處理的基板處理工序。作為在這種基板處理工序中使用的基板處理系統(tǒng)，公知有相對于基板一片一片地...
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