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探針卡及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7221190

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本發(fā)明涉及一種。本發(fā)明尤其涉及一種用于測試電子 設(shè)備(諸如半導(dǎo)體設(shè)備)電特性的探針卡及制造該探針卡的方法。背景技術(shù)一般地,在對半導(dǎo)體基底進(jìn)行多種處理以形成半導(dǎo)體設(shè)備之后,會對該半 導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行探針測試以從所制造的半導(dǎo)體設(shè)備中選出正常的半導(dǎo)體設(shè)備。然 后對該正常的半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行封裝處理以形成半導(dǎo)體封裝。該探針測試中,探針卡的探針分別與該半導(dǎo)體設(shè)備的外端子(如電極焊盤) 接觸。測試器通過該探針向外端子提供測試信號。該測試器接收從該外端子輸 出的電信號。該測試器...
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