技術(shù)編號：7221200
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體上涉及材料制造，特別是涉及用于微電子學(xué)、光電子 學(xué)、光學(xué)或光子學(xué)應(yīng)用的異質(zhì)結(jié)構(gòu)的制造。更確切的說，本發(fā)明涉及制造異質(zhì)襯底的新工藝，該異質(zhì)襯底由 至少一個承載(support)和一個或多個使用該材料且它們的熱特性可能不同的薄膜構(gòu)成。背景技術(shù)這種類型的工藝是已知的。這樣，已知生產(chǎn)異質(zhì)襯底采用結(jié)合(bonding)技術(shù)，特別是分子 吸附(molecular adhesion)技術(shù)(以后稱為直接結(jié)合(direct bonding)技術(shù))。使用結(jié)合步驟的已...
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