技術(shù)編號：7221895
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及蝕刻液、蝕刻處理物的制造方法和由該方法能夠得到 的蝕刻處理物。更詳細(xì)地講涉及以等速度或接近其的蝕刻速率對無退 火的硼磷玻璃膜(BPSG)等的無退火摻雜氧化膜和無退火的SOD膜、 TEOS膜、熱氧化膜(THOX)等非摻雜氧化膜進(jìn)行蝕刻的蝕刻液、蝕 刻處理物的制造方法和由該方法能夠得到的蝕刻處理物。背景技術(shù)在超微細(xì)器件的實現(xiàn)中，特別是由于必須抑制摻雜劑在晶體管中 的擴散，ULSI等超微細(xì)器件利用低溫化處理制造。在低溫化處理中， 要求無退火的BPSG膜...
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