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絕緣體上應(yīng)變硅結(jié)構(gòu)的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7223070

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本發(fā)明一般涉及絕緣體上應(yīng)變硅(SSOI)結(jié)構(gòu)。更具體地說(shuō),本發(fā)明 旨在一種其中應(yīng)變硅層具有改善的表面特性的SSOI結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還旨在一種制造該結(jié)構(gòu)的方法。背景技術(shù)AA々m L ti , Ci八T 、 "4^名滌A k/rk加曰_ 4f 1____1L -s iW 、 主U太^Ci外'r十、丄^上、>/巧嚇"JJ^! rp 0付^u^t"日曰^! 、 imi量uic Waier ,、 卞卞仵器件層以及在處理晶片與器件層之間的介電絕緣層。...
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