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氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7223564

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本發(fā)明涉及對元件形狀的加工以改善氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件特別;^ 光二極管的輸出,還涉及可容易地使加工條件最優(yōu)化并提高器件成品率的 制造方法。背景技術(shù)III族氮化物半導(dǎo)體具有對應(yīng)于可見光范圍至紫外光范圍的能量的直 接帶隙,并且能夠高效率發(fā)光,因此將它們用于產(chǎn)品例如發(fā)光二極管(LED ) 和激光二極管(LD)中。特別地,通過與熒光材料結(jié)合對白色發(fā)光二極管 的實現(xiàn)被預(yù)期是發(fā)光二極管的應(yīng)用的新領(lǐng)域。發(fā)光二極管的輸出由內(nèi)部量子效率與光提取效率的乘積確定,其中內(nèi) 部量子...
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