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在同一襯底上集成平面和三柵器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7224679

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在同一村底上集成平面和三柵器件本發(fā)明一般涉及半導(dǎo)體晶體管,具體但并不排他地,涉及包括集成到同 一襯底上的不同類型晶體管的存儲單元。背景技術(shù)圖1A示意示出靜態(tài)隨機存取存儲器(SRAM)單元100的一 個實施例。SRAM單元100包括一對反相器102和104,其中反相器 102的輸出耦合到反相器104的輸入,而反相器104的輸出耦合到反 相器102的輸入。以這種方式耦合反相器102和104產(chǎn)生自持式存儲 單元。除了反相器102和104外,SRAM單元100還包...
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