技術(shù)編號(hào)：7224739
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明關(guān)于半導(dǎo)體組件制造，尤其是關(guān)于用于半導(dǎo)體組件制造設(shè)備的 延伸主機(jī)-沒計(jì)。背景技術(shù)半導(dǎo)體組件的制造制程通常是以具有數(shù)個(gè)主機(jī)的工具進(jìn)行，而主機(jī)中 有多個(gè)處理室及/或負(fù)載鎖定室耦接環(huán)繞中央傳送處理室。所述處理室各可 進(jìn)行特定制程，或于許多情況中，可進(jìn)行額外及/或相關(guān)制程。為確保能適當(dāng)操作半導(dǎo)體組件制造工具，工具的處理室、負(fù)載鎖定室 及其它處理室必須作維護(hù)，故需充分存取以維護(hù)處理室。然而，于某些情 況中，提供這樣的存取可能會(huì)限制系統(tǒng)產(chǎn)量。發(fā)明內(nèi)容于本發(fā)明第一...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。