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半導(dǎo)體裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7225705

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體裝置,特別是涉及能夠簡(jiǎn)單且廉價(jià)地制造、能夠以低功耗進(jìn)行通信的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù) 伴隨著電子設(shè)備的普及,提出了以低成本實(shí)現(xiàn)層疊了多芯片模塊(MCM)的多芯片封裝、或者系統(tǒng)級(jí)封裝(SIP)的層疊技術(shù)、芯片間布線技術(shù)等。圖1示出了現(xiàn)有多芯片模塊的結(jié)構(gòu)的例子。在該多芯片模塊中,組合了硅中介層1和硅中介層21。在硅中介層1的表面2上通過(guò)凸塊4安裝有芯片5。同樣地,在硅中介層21的表面22上,通過(guò)凸塊24安裝了芯片25。而且,在硅中介層1的表面2...
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