技術(shù)編號：7225711
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種制程設(shè)備，特別是有關(guān)于一種半導(dǎo)體晶圓的制程設(shè)備組。背景技術(shù) 隨著電子產(chǎn)品的進步，半導(dǎo)體技術(shù)已廣泛應(yīng)用在例如存儲器、中央處理器、液晶顯示器、發(fā)光二極管、激光二極管、其他元件或晶片組的制造。為達到高集成度及速度的要求，半導(dǎo)體集成電路的尺寸已被縮減且使用例如銅及具有超低介電常數(shù)的各種材料，以克服制造上材料及需求相關(guān)的問題。圖1為傳統(tǒng)介層窗結(jié)構(gòu)的剖面示意圖。一銅金屬層110形成于一基板100上。一低介電常數(shù)介電層120形成于銅金屬層110上。一銅...
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