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技術(shù)編號(hào)：7225735

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本發(fā)明涉及垂直空腔面射型激光器(VCSEL)，且更具體而言涉及通過對(duì)上部鏡面或臺(tái)面結(jié)構(gòu)進(jìn)行選擇性圖案化而形成的具有?？刂频腣CSEL。背景技術(shù) 一典型的VCSEL配置包括一有源區(qū)域，所述有源區(qū)域位于兩個(gè)在襯底晶片表面上彼此上下疊置的兩個(gè)鏡面之間。一位于這些鏡面之間的絕緣區(qū)域迫使電流流經(jīng)一小孔徑，且該裝置發(fā)射垂直于晶片表面的激光(即，VCSEL的“垂直”部分)。一種類型的VCSEL(具體而言，為質(zhì)子VCSEL，其中通過一質(zhì)子植入來形成絕緣區(qū)域)一曾主導(dǎo)了VC...
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