技術編號：7228649
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微電子技術中的微機電系統(tǒng)(MEMS)應用中的射頻(RF) MEMS，尤其涉及一種雙穩(wěn)態(tài)單晶硅梁射頻微機電系統(tǒng)開關。背景技術在微機電系統(tǒng)制造技術中，射頻微機電系統(tǒng)(RFMEMS)幵關是用 光刻技術制作的小型化機械器件，用于射頻和微波頻率電路中的信號處 理，是一項將能對現(xiàn)有雷達和通信中射頻結構產(chǎn)生重大影響的新技術。目前，在RFMEMS技術主要研究領域中，適用于RF系統(tǒng)的有調(diào)諧 電容、感應器、濾波器和微機械開關。其中最常見的射頻MEMS控制元 件，被認...
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