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技術(shù)編號(hào)：7228651

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本發(fā)明涉及微電子技術(shù)中的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)應(yīng)用中的射頻(RF) MEMS，尤其涉及一種靜電推拉式單晶硅梁射頻微機(jī)電系統(tǒng)開(kāi)背景技術(shù)射頻微機(jī)電系統(tǒng)(RFMEMS)開(kāi)關(guān)在開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)、低噪聲低功耗電路、 便攜式無(wú)線系統(tǒng)、相控陣?yán)走_(dá)中應(yīng)用十分廣泛，與傳統(tǒng)的FET或PIN 二 極管構(gòu)成的固體開(kāi)關(guān)相比，靜電驅(qū)動(dòng)的RFMEMS開(kāi)關(guān)具有截至頻率高、 插入損耗低、隔離度高和線性度好等特點(diǎn)。RP MEMS開(kāi)關(guān)由機(jī)械部分和電學(xué)部分構(gòu)成，可用靜電、靜磁、壓電 或者熱原理為機(jī)械運(yùn)動(dòng)...
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