技術編號：7228897
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種具有。背景技術 自上世紀60年代氧化鋅氣敏元件問世以來，氣敏傳感器的發(fā)展十分迅速，已成為傳感器中最重要的分支之一。它是利用物理效應、化學反應等機理把氣體中的特定成分檢測出來，并通過敏感芯片和轉(zhuǎn)換部件轉(zhuǎn)換成電信號的傳感器，已經(jīng)廣泛應用于工業(yè)生產(chǎn)、環(huán)境保護、國防、醫(yī)藥、人民生活、交通運輸?shù)阮I域。到目前為止，人們利用各種原理開發(fā)許多氣體傳感器，如半導體式，電化學式，SAW式，熱傳導式，光化學式，等等。其中，半導體式氣體傳感器仍然是當今研究熱點和主流...
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