技術(shù)編號(hào)：7229752
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及螺栓和半導(dǎo)體制造裝置，特別地，涉及優(yōu)選用于夾持晶片的晶片夾持設(shè)備的螺栓，其中離子束輻射到該晶片，并且涉及通過向晶片輻射離子束對(duì)晶片進(jìn)行處理的半導(dǎo)體制造裝置。背景技術(shù) 制造半導(dǎo)體器件的一個(gè)重要的步驟是使用少量的化學(xué)元素?fù)诫s半導(dǎo)體材料的步驟。已知離子注入是一種使用摻雜劑原子摻雜半導(dǎo)體晶片的方法。離子注入是一種用于摻雜半導(dǎo)體晶片的技術(shù)，其方法是，使摻雜劑原子離子化，使離子化的原子加速以形成具有所需能量的離子束，并且使離子束輻射到晶片的前表面。離子化的原...
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