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結(jié)合在晶片上的粘結(jié)膜的分?jǐn)喾椒夹g(shù)資料下載

技術(shù)編號:7231251

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本發(fā)明涉及晶片接合用粘結(jié)膜的分?jǐn)喾椒ǎ糜趯⒔Y(jié)合在形成有多個器件的晶片的后表面上的晶片接合用粘結(jié)膜分?jǐn)喑膳c所述器件相對應(yīng)的多塊。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體器件的制造過程中,例如,通過在由分區(qū)線(分割預(yù)定線)分開的多個區(qū)域內(nèi)形成諸如IC或LSI等器件來制造彼此獨立的器件,該分割預(yù)定線以格子樣式形成在基本上為盤狀的半導(dǎo)體晶片的前表面上,并且將半導(dǎo)體晶片沿著分割預(yù)定線分?jǐn)喑啥鄠€區(qū)域,每個區(qū)域都具有形成于其中的器件。稱為“切分機”的切割機通常用作分割半導(dǎo)體晶片的分割機以通...
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