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半導(dǎo)體器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7231305

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本發(fā)明涉及一種,具體而言,涉及一種在應(yīng)用于對(duì)包括非易失性存儲(chǔ)器和其外圍電路的半導(dǎo)體器件的制造時(shí)有效的技術(shù)。背景技術(shù) 作為一種可以電重寫數(shù)據(jù)的非易失性存儲(chǔ)器(電可擦除和可編程只讀存儲(chǔ)器),已知使用包括ONO(氧化物氮化物氧化物)膜的電荷存儲(chǔ)層的分離柵極型存儲(chǔ)單元結(jié)構(gòu)。作為非易失性存儲(chǔ)器的外圍電路,例如,已知包括如讀出放大器的低耐壓MISFET、列解碼器和行解碼器的電路,以及包括如升壓電路的高耐壓MISFET的電路。在日本專利申請(qǐng)公開(kāi)No.2006-01937...
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