技術編號：7231370
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及用于表面清洗(cleaning)的方法、器件制造方法、清洗組件、清洗裝置以及光刻裝置。背景技術 光刻裝置是可在襯底、通常是襯底的目標部分上施加所需圖案的機器。光刻裝置例如可用于集成電路(IC)的制造中。在這種情況下，可采用圖案形成裝置來產生將形成于IC的單個層上的電路圖案，該圖案形成裝置也稱為掩模或分劃板。該圖案可被轉移到襯底(如硅晶片)上的目標部分(例如包括一個或多個管芯、或者一個管芯的一部分)上。圖案的轉移通常借助于成像到設于襯底上的一層輻射...
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