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多晶硅錠制造裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7232122

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本發(fā)明涉及一種硅錠(silicon ingot)制造裝置,尤其涉及用于制造太陽(yáng)能電池用多晶硅錠的裝置。背景技術(shù) 最近,隨著對(duì)太陽(yáng)能電池的需求以每年百分之幾十左右的速度增加,太陽(yáng)能電池用多晶硅錠的需求也是年年大幅增加。一般而言,太陽(yáng)能電池用多晶硅錠是在石英或石墨坩堝中填充硅原料之后通過(guò)熔融及定向凝固過(guò)程進(jìn)行制造的。圖1為現(xiàn)有的硅錠制造裝置的剖面圖。由美國(guó)專利第6,136,091號(hào)所公知的現(xiàn)有硅錠制造裝置包含由在其內(nèi)部形成熱區(qū)(Hot zone)的工藝室構(gòu)成的...
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