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高壓金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7233307

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本發(fā)明是有關(guān)于 一種集成電路元件及其制造方法,且特別是有關(guān)于 一種 。背景技術(shù)在集成電路元件中,不同的電路需要具有不同基礎(chǔ)操作特性的不同電路 元件密切配合。其中,高壓元件,顧名思義就是一種可以耐較高偏壓的元件,意即高壓元件的擊穿電壓值(breakdown voltage)會(huì)較一般元件高。習(xí)知的高壓元件主要是利用隔離結(jié)構(gòu)形成,以提高源極/漏極區(qū)的接面擊穿電壓,繼而使高壓元件在高電壓的狀況下,仍能正常運(yùn)作。雖然高壓元件中的隔離結(jié)構(gòu)的形成可提高擊穿電壓,但是此法...
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