技術(shù)編號(hào)：7237086
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了一種具有門(mén)縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室。 背景技術(shù)處理室是已知的。然而，它們存在著各種缺點(diǎn)。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明用于解決現(xiàn)有技術(shù)中的各種缺點(diǎn)。為此，本發(fā)明提供一種具有門(mén)縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室，其 包括室本體；形成于室本體的壁中的門(mén)縫，基片由此裝載入室本 體和從室本體中卸載；至少一個(gè)內(nèi)門(mén)，所述內(nèi)門(mén)可旋轉(zhuǎn)地安裝在門(mén) 縫的相對(duì)開(kāi)口中的內(nèi)開(kāi)口處以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口；以及旋轉(zhuǎn)所述 至少 一 個(gè)內(nèi)門(mén)以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口的門(mén)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。優(yōu)選地，還包括止動(dòng)件，其限制所...
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