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制造用于制造分裂柵極非易失性存儲(chǔ)器單元的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7239807

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總的來(lái)說(shuō),本公開(kāi)涉及制造半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法,且更具體地,涉及用于制造分裂柵極非易失性存儲(chǔ)器単元的方法。背景技術(shù)已開(kāi)發(fā)了分裂柵極非易失性存儲(chǔ)器(NVM)作為提供相對(duì)于典型的浮柵極上控制柵極的優(yōu)點(diǎn)。ー個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于對(duì)于未選擇的但在被選行上或者替代地在被選列上的存儲(chǔ)器單元減少了編程擾動(dòng)。通常,被選行或被選列上的單元最可能成為擾動(dòng)的問(wèn)題而與對(duì)被選單元執(zhí)行的操作無(wú)關(guān)。在分裂柵極存儲(chǔ)器單元已經(jīng)基本上解決了對(duì)于被選行或列上的単元的編程擾動(dòng)問(wèn)題的情況下,對(duì)于未選擇的行或未選擇的...
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