技術(shù)編號：7242041
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的實施例大體上有關(guān)于基板制程裝置。背景技術(shù)在諸如蝕刻制程的基板處理期間，制程腔室的內(nèi)部體積可能暴露于ー種或多種制程氣體下。通常利用一或多個流量控制器提供這類制程氣體至該內(nèi)部體積中并且控制流率而以期望流率供應(yīng)這些制程氣體。在一些制程腔室結(jié)構(gòu)中，例如當共享氣體分配盤供應(yīng)這些制程氣體至多個制程腔室時，本發(fā)明發(fā)明人發(fā)現(xiàn)目前尚無方法可用以確認這些流量控制器是否把這些來自共享氣體分配盤的制程氣體正確地分配至各個腔室。此外，本發(fā)明發(fā)明人觀察到在多腔室基板制程系統(tǒng)(...
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