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技術(shù)編號(hào)：7242054

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本發(fā)明涉及具有硅通孔的集成電路器件，并且更具體而言涉及用于回收(reclaim)靠近硅通孔的可用集成電路芯片區(qū)域的技術(shù)。背景技術(shù)人們?cè)缫阎獣?，諸如硅和鍺之類(lèi)的半導(dǎo)體材料展現(xiàn)出壓阻效應(yīng)(機(jī)械應(yīng)力誘導(dǎo)的電阻變化)。例如參見(jiàn) C. S. Smith, " Piezoresistance effect in germanium andsilicon" ，Phys. Rev.，vol. 94, pp. 42-49 ( 1954),該文獻(xiàn)在此通過(guò)引用并入。壓阻效應(yīng)已形...
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