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一種焊盤結(jié)構(gòu)及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7243914

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本發(fā)明涉及,包括提供具有頂部金屬層和頂部通孔的疊層;在所述疊層上沉積第一鈍化層;蝕刻所述第一鈍化層,形成第一開口以露出所述頂部金屬層;沉積焊盤金屬層,通過所述第一開口與頂部金屬層相連;平坦化所述焊盤金屬層;蝕刻所述焊盤金屬層的兩側(cè)部分,以露出所述第一鈍化層;沉積第二鈍化層;蝕刻所述第二鈍化層形成第二開口,以露出所述焊盤金屬層。本發(fā)明中在沉積焊盤金屬材料層時(shí),增加所述焊盤金屬材料層的厚度,然后執(zhí)行一平坦化步驟,使所述焊盤金屬材料層的表面更加平整,在進(jìn)行結(jié)合線...
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