技術(shù)編號(hào):7243914
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及,包括提供具有頂部金屬層和頂部通孔的疊層;在所述疊層上沉積第一鈍化層;蝕刻所述第一鈍化層,形成第一開口以露出所述頂部金屬層;沉積焊盤金屬層,通過所述第一開口與頂部金屬層相連;平坦化所述焊盤金屬層;蝕刻所述焊盤金屬層的兩側(cè)部分,以露出所述第一鈍化層;沉積第二鈍化層;蝕刻所述第二鈍化層形成第二開口,以露出所述焊盤金屬層。本發(fā)明中在沉積焊盤金屬材料層時(shí),增加所述焊盤金屬材料層的厚度,然后執(zhí)行一平坦化步驟,使所述焊盤金屬材料層的表面更加平整,在進(jìn)行結(jié)合線...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。