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一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7244646

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半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法。所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法,包括提供襯底;在襯底上形成第一鰭部,所述第一鰭部側(cè)面與襯底表面垂直,所述第一鰭部?jī)蓚?cè)具有第一隔離層;采用氧化和刻蝕工藝對(duì)所述第一鰭部和第一隔離層進(jìn)行處理,形成第二鰭部和第二隔離層。所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法,還包括在第二鰭部表面形成柵極結(jié)構(gòu),所述柵極結(jié)構(gòu)橫跨第二鰭部頂部和側(cè)壁;在第二鰭部?jī)啥诵纬稍礃O和漏極,所述源極和漏極位于柵極結(jié)構(gòu)的兩側(cè)。本發(fā)明的實(shí)施例在對(duì)鰭部?jī)蓚?cè)隔離層進(jìn)行回刻的同時(shí)形成側(cè)壁傾斜的鰭部,方法簡(jiǎn)...
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