技術編號：7247112
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及，是在使用真空臂傳送反應腔內(nèi)處理完畢的晶圓之前，對晶圓是否破碎進行檢測；先由發(fā)射器向晶圓表面發(fā)射紅外線，如果接收器能夠收到由晶圓反射回來的紅外線，說明晶圓沒有破碎，則控制真空臂伸出到反應腔內(nèi)來替換晶圓；如果接收器接收不到紅外線的，說明晶圓已經(jīng)破碎，則立即停止真空臂繼續(xù)伸出。本發(fā)明簡單可靠，能夠在傳送晶圓之前方便地檢測其狀態(tài)，從而在發(fā)現(xiàn)晶圓破損后能夠立即停止向反應腔伸出真空臂，以此減少晶圓報廢的數(shù)量，保護真空臂和反應腔內(nèi)的頂針，延長機臺的使用壽命。...
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