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雙層轉(zhuǎn)移方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7252616

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一種轉(zhuǎn)移層(1)的方法,包括a)提供以結(jié)合能E0與初始基板(4)整體接合的層(1);b)根據(jù)中間結(jié)合能Ei,使所述層(1)的正面(8)結(jié)合到中間基板(5);c)從所述層(1)分離所述初始基板(4);e)根據(jù)最終結(jié)合能Ef,使背面(9)結(jié)合至最終基板(11);以及f)從所述層(1)剝離所述中間基板(5)以將所述層(1)轉(zhuǎn)移到所述最終基板(11);步驟b)包括形成硅氧烷鍵Si-O-Si的步驟,在第一無(wú)水環(huán)境中進(jìn)行步驟c)并且在第二潮濕環(huán)境中進(jìn)行步驟f),使得所...
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