技術(shù)編號(hào):7252790
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種穿晶片通路設(shè)備(10),包括晶片(12),所述晶片(12)由晶片材料制成并且具有第一晶片表面(12a)和與所述第一晶片表面(12a)相對(duì)的第二晶片表面(12b)。所述穿晶片通路設(shè)備(10)還包括多個(gè)并排的第一溝槽(14),所述第一溝槽(14)被提供有導(dǎo)電材料并且從所述第一晶片表面(12a)延伸到所述晶片(12)中,使得在各所述第一溝槽(14)之間形成所述晶片材料的多個(gè)間隔(16)。所述穿晶片通路設(shè)備(10)還包括第二溝槽(18),所述第二溝槽...
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