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打線裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7253824

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打線裝置,具備基座(11)、使毛細(xì)管(15)相對(duì)于基座(11)在XYZ方向上移動(dòng)的接合頭(13)、導(dǎo)線洗凈用等離子體單元(30);導(dǎo)線洗凈用等離子體單元(30)包含中空的殼體(31a)、(31b),以使內(nèi)壓高于大氣壓的方式導(dǎo)入惰性氣體;各孔(33a)、(33b),以由導(dǎo)線(21)插通的方式分別設(shè)置于殼體(31a)、(31b);等離子體用電極,設(shè)置于各孔(33a)、(33b)周緣的各殼體(31a)、(31b)的內(nèi)側(cè);使導(dǎo)線(21)于在大氣未進(jìn)入至殼體(31a...
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