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具有豎直漏極到柵極電容耦合的非易失性存儲器器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7253827

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豎直制作的非易失性存儲器器件在漏極區(qū)域與浮柵之間具有電容耦合。一種兩端子可編程非易失性器件(200)包括關(guān)于襯底豎直設(shè)置的浮柵(210),其中浮柵包括第一側(cè)(213)、第二側(cè)(215)和底部部分(217)。源極區(qū)域(240)被耦合到第一端子并且鄰近浮柵的第一側(cè)而形成。漏極區(qū)域(220)被耦合到第二端子并且鄰近浮柵的第二側(cè)而形成。非易失性器件包括耦合源極區(qū)域和漏極區(qū)域用于編程和擦除操作的溝道(290)。漏極區(qū)域被電容地耦合到浮柵。溝道可以被凹陷在襯底中或者襯...
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