技術(shù)編號：7253835
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。提供使掩模更換時的掩模選擇有效率、能進行短時間的掩模更換的曝光系統(tǒng)。曝光系統(tǒng)(1)具備曝光裝置(10)，其通過掩模對基板照射光；以及控制部(30)，其控制曝光裝置(10)?？刂撇?30)從曝光裝置(10)實時地接收表示掩模存在于曝光裝置(10)內(nèi)的哪個位置的位置信息，基于位置信息選擇在接下來處理的基板的曝光中使用的掩模。專利說明[0001]本發(fā)明涉及用于對基板進行曝光處理的曝光系統(tǒng)、以及該曝光系統(tǒng)的控制裝置和控制方法。背景技術(shù)[0002]現(xiàn)有的與曝光系統(tǒng)有...
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