技術(shù)編號(hào)：7254233
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求I前序部分的用于熱處理基板的熱處理內(nèi)腔，如其例如在同類的US6，703，589B1中所描述的那樣。此外，本發(fā)明還涉及根據(jù)權(quán)利要求18前序部分的、具有熱處理內(nèi)腔的處理箱，所述熱處理內(nèi)腔被布置在外部腔室中并且適用于熱處理基板。背景技術(shù)通常，在基板的表面處理、例如通過利用在高真空中的金屬蒸汽冷凝或者利用濺射エ藝進(jìn)行涂覆時(shí)，一些エ藝步驟是必需的，在這些步驟中基板(及必要時(shí)涂覆在基板上的涂層)經(jīng)受熱預(yù)處理和/或后處理。為此，基板通常借助于熱源被...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。