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一種形成高壓igbt的fs層的方法及igbt器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7255566

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本發(fā)明涉及一種通過(guò)外延形成高壓IGBT的FS層的方法,其中的FS層外延形成工藝方法如下提供包括N型漂移區(qū)的高壓IGBT生產(chǎn)專用厚度的半導(dǎo)體圓片(1);在所述半導(dǎo)體圓片的正面淀積一定厚度的保護(hù)層(2),以保護(hù)背面外延工藝作業(yè)時(shí)半導(dǎo)體圓片(1)的正面;將所述半導(dǎo)體圓片翻轉(zhuǎn),背面向上,外延所需厚度的N+外延層,該N+外延層即所述FS結(jié)構(gòu),該N+外延層(3)的摻雜濃度大于N型漂移區(qū)的摻雜濃度;在外延結(jié)束后,將所述半導(dǎo)體圓片(1)翻轉(zhuǎn)為正面向上,去除正面的所述保護(hù)層...
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