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技術(shù)編號(hào)：7255570

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本發(fā)明提供了用于具有提高編程效率的非易失性存儲(chǔ)單元的方法和裝置。公開(kāi)了一種裝置，包括在形成半導(dǎo)體襯底上方的浮置柵極的一部分上方所形成的控制柵極?？刂茤艠O包括緊鄰半導(dǎo)體襯底中的源極區(qū)的源極側(cè)的側(cè)壁間隔件和漏極側(cè)的側(cè)壁間隔件，浮置柵極具有緊鄰源極區(qū)的未被控制柵極覆蓋的上表面部分，位于源極側(cè)的側(cè)壁間隔件和浮置柵極緊鄰源極區(qū)的上表面上方的聚合物間電介質(zhì)；以及形成在源極區(qū)上方、覆蓋聚合物間電介質(zhì)并且緊鄰控制柵極的源極側(cè)的側(cè)壁的擦除柵極，擦除柵極覆蓋浮置柵極緊鄰源極區(qū)...
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