技術(shù)編號:7255859
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的目的在于提供一種從襯底剝離通過較低溫度(低于500℃)的工藝而制造的元件來制造具有柔性的半導(dǎo)體裝置的方法。使用現(xiàn)有的大型玻璃襯底的制造設(shè)備,在玻璃襯底上形成鉬膜,在其上形成氧化鉬膜,在氧化鉬膜上層疊非金屬無機膜及有機化合物膜,并且在有機化合物膜上形成通過較低溫度(低于500℃)的工藝而制造的元件,然后將其元件從玻璃襯底剝離。專利說明[0001]本申請是2008年2月2日提交的、申請?zhí)枮?00810009449.9、發(fā)明名稱為“”的申請之分案申請。[...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。