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一種終端與有源區(qū)形成弱電連接的結(jié)構(gòu)及其設(shè)計(jì)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7256443

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本發(fā)明提供了一種終端與有源區(qū)形成弱電連接的結(jié)構(gòu),包括襯底結(jié)構(gòu)、場(chǎng)限環(huán)結(jié)構(gòu)、鈍化層、基區(qū)結(jié)構(gòu)、發(fā)射區(qū)結(jié)構(gòu)、多晶硅柵結(jié)構(gòu)、覆蓋有源區(qū)的金屬電極、通過氧化層開孔與主結(jié)和第一級(jí)場(chǎng)限環(huán)連接的金屬電極、及與多晶硅柵結(jié)構(gòu)連接的柵極電極,本發(fā)明提供的一種終端與有源區(qū)形成弱電連接的結(jié)構(gòu),是在傳統(tǒng)終端結(jié)構(gòu)的形成終端鈍化層的基礎(chǔ)上,在終端主結(jié)和第一級(jí)場(chǎng)限環(huán)之間刻蝕鈍化層形成金屬接觸窗口,使得該位置與有源區(qū)的金屬形成電學(xué)連接。本發(fā)明提供的一種終端與有源區(qū)形成弱電連接的結(jié)構(gòu),可以防...
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