技術(shù)編號：7256970
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種，其中，所示半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法包括提供襯底，所述襯底表面具有介質(zhì)層，所述介質(zhì)層內(nèi)具有開口；在所述介質(zhì)層表面、所述開口的側(cè)壁和底部表面形成第一復(fù)合阻擋層，所述第一復(fù)合阻擋層與介質(zhì)層相對一面的材料不含氮元素；在所述第一復(fù)合阻擋層表面形成第二氮化鉭層、以及位于所述第二氮化鉭層表面的第二鉭層；在所述第二鉭層表面形成種子層；在所述種子層表面形成填充滿所述開口的導(dǎo)電層；去除所述介質(zhì)層頂部表面的導(dǎo)電層、種子層、第二鉭層、第二氮化鉭層和第一復(fù)合阻擋層，所述開口內(nèi)的種...
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