技術(shù)編號：7256975
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供一種，提供一自下而上依次包括襯底、刻蝕停止層、層間介質(zhì)層及硬掩模的測試結(jié)構(gòu)，所述刻蝕停止層的厚度與待刻蝕器件中的一致，然后采用預(yù)設(shè)刻蝕條件對所述測試結(jié)構(gòu)進行刻蝕，形成若干用于互連的盲孔；再測試刻蝕后的測試結(jié)構(gòu)的縱截面形貌，若所述盲孔的下表面低于所述刻蝕停止層的下表面，且所述盲孔的下表面與所述刻蝕停止層下表面的之間的距離小于或等于預(yù)設(shè)過刻蝕量，則采用所述預(yù)設(shè)刻蝕條件對待刻蝕器件進行刻蝕。本發(fā)明不需要通過特殊制樣增厚刻蝕停止層，且不需要預(yù)鍍銅層，過刻...
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