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垂直型半導(dǎo)體器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7258609

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提供了一種垂直存儲(chǔ)器件及其制造方法。垂直型半導(dǎo)體器件包括形成在半導(dǎo)體襯底的單元區(qū)中的公共源極區(qū)。溝道區(qū)形成在公共源極區(qū)上。溝道區(qū)具有預(yù)定高度和第一直徑。漏極區(qū)形成在溝道區(qū)上。漏極區(qū)具有預(yù)定高度和比第一直徑大的第二直徑。第一柵電極包圍溝道區(qū)。專利說明[0001]相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用[0002]本申請(qǐng)要求2012年12月14日向韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的申請(qǐng)?zhí)枮?0-2012-0146381的韓國(guó)專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán),其全部?jī)?nèi)容通過引用合并于此。[0003]各種實(shí)施例總體...
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