技術(shù)編號：7259205
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提高一種能夠在防止在集合配置的元件分離用溝道結(jié)構(gòu)的最外周部產(chǎn)生裂縫的半導體裝置。該半導體裝置具備形成在半導體基板的一主面的元件分離用溝道（30）、形成在元件分離用溝道（30）內(nèi)的絕緣物（120）、被元件分離用溝道（30）包圍的元件形成區(qū)域（38）以及形成在元件形成區(qū)域（38）的半導體元件，其中，所述元件分離用溝道（30）具備在X方向上延伸的元件分離用溝道（363）；在Y方向上延伸的元件分離用溝道（361、362）；以及在從X方向以角度θ(0°＜θ＜9...
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