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用于奇數(shù)個(gè)處理模塊的均等氣體分配的系統(tǒng)、方法及裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7259547

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一種用于奇數(shù)個(gè)處理模塊的均等氣體分配的系統(tǒng)、方法及裝置。用于將不同的處理氣體供應(yīng)至使用期望數(shù)量個(gè)質(zhì)量流量控制器(MFC)的奇數(shù)個(gè)處理室的管道布置。該管道布置可以實(shí)現(xiàn)并且確保到奇數(shù)個(gè)處理室的均勻氣體分配。此外,該管道布置被配置成將氣體盒與多個(gè)真空處理模塊(PM)連接并且包括用于處理氣體供應(yīng)的管道部分和用于H2O供應(yīng)的管道部分。管道布置可以實(shí)施成不具有任何孔。專利說(shuō)明用于奇數(shù)個(gè)處理模塊的均等氣體分配的系統(tǒng)、方法及裝置[0001]相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用[0002]本...
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