技術(shù)編號(hào)：7259749
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種即便外周端部存在翹曲的基板保持環(huán)，也可保持著水平姿勢進(jìn)行固持、搬送的基板保持環(huán)的固持機(jī)構(gòu)。本發(fā)明是固持基板保持環(huán)的固持機(jī)構(gòu)，該基板保持環(huán)為環(huán)狀且平板狀的環(huán)，且鋪設(shè)有黏著保持基板的黏著片，該基板保持環(huán)的固持機(jī)構(gòu)包含支撐器件，從下方支撐基板保持環(huán)；及壓固器件，從上方壓固基板保持環(huán)；通過支撐器件支撐基板保持環(huán)的相對外周側(cè)，且壓固器件壓固基板保持環(huán)的相對內(nèi)周側(cè)，而在支撐器件形成的支撐區(qū)域與壓固器件形成的壓固區(qū)域在水平方向上錯(cuò)開的狀態(tài)下固持基板保持環(huán)。...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。