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用于塊體FinFET技術(shù)的漏極延伸MOS器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7260203

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本發(fā)明涉及用于塊體FinFET技術(shù)的漏極延伸MOS器件。一些方面涉及一種包括被布置在半導(dǎo)體襯底之上且在源極區(qū)和漏極區(qū)之間側(cè)向延伸的半導(dǎo)體鰭的FinFET。淺溝槽隔離(STI)區(qū)側(cè)向包圍半導(dǎo)體鰭的下部,并且半導(dǎo)體鰭的上部保留在STI區(qū)之上。柵極電極橫越在半導(dǎo)體鰭之上以在導(dǎo)電柵極電極之下的半導(dǎo)體鰭中定義溝道區(qū)。穿通阻斷區(qū)能夠在半導(dǎo)體鰭的下部中在源極區(qū)和溝道區(qū)之間延伸。漏極延伸區(qū)能夠在半導(dǎo)體鰭的下部中在漏極區(qū)和溝道區(qū)之間延伸。還公開了其他器件和方法。專利說明用于...
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