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氧化物半導(dǎo)體、薄膜晶體管和顯示裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7261803

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本發(fā)明提供一種氧化物半導(dǎo)體、使用該氧化物半導(dǎo)體的薄膜晶體管、和使用該薄膜晶體管的顯示裝置,其一個(gè)目的是控制氧化物半導(dǎo)體的組成和缺陷,另一個(gè)目的是提高薄膜晶體管的場(chǎng)效應(yīng)遷移率,并通過減小截止電流來獲得充分的通斷比。所采用的技術(shù)方案是采用其組成用InMO3(ZnO)m表示的氧化物半導(dǎo)體,其中M為選自Ga、Fe、Ni、Mn、Co、和Al中的一種或多種元素,且m優(yōu)選地為大于或等于1且小于50的非整數(shù)。Zn的濃度低于In和M的濃度。氧化物半導(dǎo)體具有非晶結(jié)構(gòu)??梢耘渲?..
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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