技術(shù)編號：7263101
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括但不限于離子注入系統(tǒng)，更具體地，涉及一種靜電夾頭，所述靜電夾頭具有靜電環(huán)以及用于離子注入應(yīng)用中的受熱中央部分。 背景技術(shù)靜電夾具或夾頭(ESC)通常用在半導(dǎo)體工業(yè)中，用于在基于等離子或基于真空的半導(dǎo)體工藝(例如，離子注入、蝕刻、化學(xué)氣相沉積(CVD)等)期間將工件或襯底夾持和保持在相對于支撐或夾持表面的固定的位置。ESC的靜電夾持能力以及工件溫度控制經(jīng)證實在加工半導(dǎo)體襯底或晶片(例如，硅晶片)中相當(dāng)有用。例如，典型的ESC...
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